加速度(ACC):0.3Hz~300Hz 0.1、0.3、1、3、10、30m/s2 6レンジ 速度(VEL):3Hz~300Hz 1、3、10、30、100mm/s 5レンジ 変位(DISP):3Hz~100Hz 0.1、0.3、1.3、10mmp-p 5レンジ
±5%(16Hz基準の偏差) ±5%(16HzのFS値に於て) ±2% ±1.5%(FS値に対して)