准分子灯
封入氙气的准分子(Excimer)灯（诱电体屏障放电Excimer灯）可有效放射波长180nm以下的VUV（真空紫外线），达到超越以往的化学反应与反应速度。
USHIO光照射装置用准分子灯
特征
单一波长、低温处理
因为是单一波长，因此可选择会引起化学反应的紫外线，并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低温处理。
高效率
从电力转换为光能源的效率高（172nm型的转换率10%)，即使低电力亦可产生大的能量。
可瞬间亮灯灭灯
仅于必要时照射必要量的能量，因此具备不需要快门、实际上可延长使用寿命等各种优点。
安装方向不受限制
灯的亮灯方向不受限制，可配合生产线做立面照射。
分光分布
半导体制程用装置实例
液晶制程用装置实例
主要用途
HDD光盘洗净 阻剂剥离 阻剂残渣的剥离 塑料基板的洗净 金属表面的清洗与重组 Low-k Cure PDP荧光体评估 分析评估前的洗净 气体分解 形成氧化膜 防止带电 干燥 玻璃胶膜的贴合 纤维的改质 有机EL封装管的接合性提升 有机EL的工作函数増加
测试机介绍
提供使用产品的实验或测试机。测试后可直接购买。 ※部份使用目的与用途等无法配合需求。敬请见谅。