MIYUKI 美幸辉 气动真空蝶阀介绍
日本MIYUKI（株式会社美幸輝），专注精密真空阀门，其气动蝶阀是半导体、真空设备行业经典的高真空气动蝶阀，主力分为 B 系列（标准两位式）、BH 系列（两段式 / 三工位，zui常用）.。
✅ 核心定位
属于真空系统专用蝶阀，不是普通工业管道蝶阀；主打腔体通断、分段排气，超薄面间、高流导、低粉尘、低漏率，洁净室内组装检测，面向半导体、LCD/OLED、光伏、科研真空、镀膜刻蚀设备。
✅ 两大主力系列
1. BH 系列（二段气缸三工位，市场*主流）
特色：一个阀门实现慢排气 + 快排气
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动作档位：全关 (0°) → 0~45° 任意小开度（慢速预抽 / 缓慢泄压） → 90° 全开（高速抽气），两段气缸结构，避免直接大开冲击腔体压力，保护真空腔与基板
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气缸内置气缓冲，减小开关冲击；小型气缸但输出推力大，保证关阀密封可靠
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安装无方向、无姿态限制，水平、垂直均可装
2. B 系列（标准两位式气动蝶阀）
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齿条齿轮驱动，只有全关 / 全开 90° 两位置，结构简单可靠
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流导性能**，同口径下真空电导高，适合单纯通断、不要求预慢抽的真空回路
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口径*大可至 400A（BH *大 350A）
✅ 基础规格（BH/B 通用）
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口径：25A～350A（BH）；25A～400A（B）
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真空使用区间：大气压 10⁵ Pa ～ 10⁻⁵ Pa 高真空
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泄漏指标：阀体内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（氦检）
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接气材质：SUS304 不锈钢，电解抛光
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密封：标准 FKM 氟橡胶 O 圈；可选 FFKM 全氟醚 Kalrez，耐腐蚀、耐高温，*高本体烘烤 150℃
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驱动气源：0.4～0.6 MPa G 洁净干燥压缩空气
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法兰可选：KF (NW)、CF、JIS、ISO 法兰，适配真空管路标准
✅ 产品优势
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超薄面间设计：阀体厚度薄，管路流导大，真空抽速损失小
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低颗粒（低 particle）：洁净车间装配，内部无多余滑动摩擦副，适配晶圆制程
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逆压密封能力强：腔体负压 / 大气压压差工况下依旧保持密封
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BH 独有的分段排气：半导体腔体泄压、预抽*核心优势，防止压力冲击损坏样品 / 晶圆
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阀关闭断流完全密封，满足高真空隔断需求
✅ 典型应用场景
半导体 PVD/CVD、干法刻蚀、等离子清洗、真空镀膜、OLED/LCD 制程、科研真空腔体、光伏镀膜、真空干燥等需要腔体预抽、分段泄压、洁净高真空气路。