株式会社美幸輝(MIYUKI-H),日本专业真空阀门厂商,主打高真空 / 超高真空闸阀,核心卖点是球压式密封、双向背压可靠密封、低放气洁净阀体,广泛配套半导体、镀膜、OLED、光伏等高洁净真空设备。
一、核心原理与结构
属于直通式真空闸阀,闸板直线运动,全开时流道直通、流导大;关闭时通过球压式多点均压密封机构,让密封面受力均匀,正向 / 反向压差(逆圧)下都能稳定密封,这是和美系、德系闸阀*大差异点。
二、主力系列
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G 系列(G-C/G-J/G-N)|标准气动闸阀(主力)
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口径:DN40~DN500
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法兰:CF(C)/JIS(J)/ISO(I)/KF (NW)(N)
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特点:闭阀推力倍增气缸 + 行程末端气垫缓冲,降低冲击,适合高频启闭;球压密封,抗反向背压;泄漏可达 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s 级别
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工况:10⁵ Pa ~ 10⁻⁷ Pa,半导体腔体隔断、真空泵组隔离阀。
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GR 系列|手动真空闸阀
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GL / GAZ 系列|伺服电机开度可调闸阀
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L 系列|经济型气动闸阀
三、关键技术亮点
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✅ 逆圧密封能力强:球压均压密封,阀两侧压差反向(一侧大气、一侧真空)也不容易泄漏,腔体破真空保护优势明显
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✅ 气垫缓冲气缸(G 系列):关阀瞬间推力放大,末端气垫缓冲,减少冲击、降低颗粒,延长密封件寿命
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✅ 低释气洁净构造:真空钎焊 + 镜面抛光,无内部缝隙藏气;洁净室装配,适合半导体、OLED 等颗粒管控严格产线
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✅ 流导优化:全开直通流道,流导高,减少抽气阻力
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✅ 法兰规格齐全:CF 超高真空刀口法兰、JIS、ISO、KF (NW),日系设备替换兼容性好
四、典型技术规格(G 系列参考)
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材质:接气部 SUS304,密封件氟橡胶 O 型圈(金属密封可选 CF 型号)
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漏率:阀体 1×10⁻¹¹ Pa・m³/s,阀密封 1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
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压力范围:大气压 ~ 10⁻⁷ Pa(高真空~超高真空)
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驱动气源(气动款):0.4~0.6 MPa
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安装姿态:大部分型号可任意方向安装
五、应用领域
半导体刻蚀 / 沉积设备、真空镀膜、OLED/LCD 面板、光伏 PVD、锂电真空除气、热处理真空炉、科研高真空腔体、氦检设备,主要做腔体隔断、泵组隔离、工艺管路通断。