MIYUKI 美幸辉是日本专业真空阀门厂商，真空压力控制器属于APC 自动压力控制系统（Auto Pressure Controller），整套系统由控制器本体 + 电动调节阀（GAR 闸阀 / BAR 蝶阀）+ 真空计构成闭环真空稳压系统，用于真空腔体高精度恒压控制，不是普通压力开关。
一、工作原理
真空计采集腔体内压力信号（0~10V/0~5V）送入控制器，和设定压力做对比；控制器依靠PIDAT 自动整定算法，输出信号驱动配套电动阀，实时调节阀门开度，稳定腔体真空压力，实现闭环恒压控制。
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PIDAT 自动调谐：7 档 AT 参数自动优化，自动适配腔体气路，减少人工调试，抑制压力震荡
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上电自动原点复位：开机阀门回原点，校准阀位基准
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STEP 阶梯模式：支持压力分段爬升 / 下降，适配多段工艺
二、主流型号对比
MGCS-11（旗舰款，*常用）
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控制范围：0.1～10⁵ Pa
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控制精度：设定压力 ±0.1%
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操作：4 英寸触摸屏、I/O、RS232C
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存储：7 组 PID 参数记忆，支持 2 路真空计输入
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供电：内置 DC±15V、DC24V，可直接给真空计供电
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结构：19 英寸半机架尺寸
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**：支持 UPS 不间断电源，断电自动关阀保护腔体
MG-mini485（小型经济型）
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控制范围：1～10⁵ Pa
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控制精度：设定压力 ±0.5%
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通讯：RS485 总线，*多 7 台多节点并联
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存储：2 组 PID 记忆
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信号：标准 0~5V/0~10V，可选 4~20mA 模拟量输入
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适合设备集成、产线多腔体低成本方案
MS-VP（开度指定型）
阀位开度优先控制型号，可直接设定阀门开度，同时做压力监控，适合需要流量 + 压力双控场景1688
三、核心特点
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高精度真空稳压，在镀膜、刻蚀工艺里维持腔体压力稳定，提升良率
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配套自家 GAR 电动闸阀 / BAR 电动蝶阀，阀与控制器匹配度高，响应平顺
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本地触摸屏 + 远程通讯 + I/O 硬接点三种控制方式，方便接入上位机 PLC
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阀位开度实时显示，同时监测实际压力，状态可视化
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报警输出功能，压力异常、阀门故障可对外告警
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断电保护：搭配 UPS，停电自动关闭调节阀，防止腔体进气、样品损坏
四、应用领域
半导体工艺、OLED / 液晶镀膜、真空蒸镀、等离子刻蚀、太阳能、真空脱气、真空干燥、精密科研真空设备，需要稳定真空压力的制程腔体。