UV臭氧清洗是通过照射能量比作为污染物的有机化合物的结合能更强的紫外线来分解有机化合物的清洗方法。
在大气（含氧的环境气体）中，通过紫外线照射产生臭氧（O3）和激发态活性氧（O）。 活性氧具有极强的氧化能力，会立即与未结合的有机化合物发生氧化反应。这会产生简单的分子，如 CO2、H2O 和 O2，它们从表面蒸发，同时去除（清洁）有机物质。
与使用清洗液的湿式清洗不同，UV臭氧清洗可以减少对环境的影响，并且不会像使用放电的等离子清洗那样对工件造成热量或静电损坏，具有以下特点。