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什么是离子研磨仪

离子研磨仪(Ion Milling System / Broad Ion Beam, BIB) 是一种真空环境下用高能惰性离子束(主流为氩离子 Ar⁺)对样品进行物理轰击、原子级剥离,从而获得无机械损伤、平整光滑表面 / 截面的精密制样设备,核心用于电镜(SEM/TEM)、微区成分分析(EDS/EBSD)等**表征的样品前处理。