主营产品: 光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、物流保管用品、化学用品、FA自动化
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离子研磨仪关键结构

关键结构

  • 真空系统:机械泵 + 分子泵,维持高真空(10⁻⁴–10⁻⁶ Pa),避免离子散射与样品污染。
  • 离子源(离子枪):产生并加速氩离子,分 ** 宽束(BIB,大面积)聚焦束(FIB,微区)两类;工业 / 科研常用单枪或多枪(3 枪)** 配置。
  • 样品台:精密可控(平移 / 旋转 / 倾斜),带冷却(水冷 / 液氮)防热损伤,可适配*大50×50 mm样品。
  • 控制与监测:实时观察光学显微镜、束流 / 能量闭环控制、终点检测(自动停磨)。