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干式泵 vs 油式真空泵关键区别

干式泵 vs 油式真空泵关键区别

表格
项目 干式真空泵(荏原) 油封旋片泵
腔体用油 无油 内腔全靠机油密封润滑
真空洁净度 无油蒸气返流,晶圆不污染 油挥发倒灌,污染镀膜 / 芯片
耐腐蚀 内腔可镀镍 / 特氟龙,适配 HF、Cl₂ 不耐腐蚀,腐蚀气体快速乳化机油报废
维护周期 6~18 个月保养 1~3 个月换油
适用 半导体、OLED、光伏、精密实验 普通工业抽气、粗抽简易设备