主营产品: 光学设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、环境试验设备、PC周边用品、作业工具用品、物流保管用品、化学用品、FA自动化
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干式泵三大核心优势

干式泵三大核心优势

  1. 洁净无油:不会油雾反窜进工艺腔体,避免晶圆、镀膜良品**;
  2. 可防腐定制:内壁镍涂层、PTFE 特氟龙涂层,处理刻蚀 HF、HBr、Cl₂腐蚀性废气;
  3. 防爆、耐可燃气体:可抽硅烷 SiH₄、氨气,适配 HJT 光伏、MOCVD。